دستگاه لایه نشانی با لیزر پالسی و تبخیر حرارتی – PLD-T
PLD – T یک سیستم لایه نشانی خلاء بالا است که قادر به لایه نشانی رنج وسیعی از مواد با استفاده از لیزر پالسی و یا تبخیر حرارتی می باشد. در روش لایه نشانی با استفاده از لیزر پالسی، منبع تبخیر (لیزر) در خارج از محفظه قرار داده می شود و پرتو لیزر از طریق یک پنجره تحت زاویه مناسب به سطح هدف که در حال دوران است، برخورد کرده و اتم های جدا شده از سطح هدف روی زیر لایه نشانده می شوند.
در این روش پالس لیزر با زمان خیزش کمتر از چند نانو ثانیه به ماده مورد نظر تابانده شده و موجب تبخیر ماده مورد نظر بدون تغییر استوکیومتری می شود. این روش برای لایه نشانی مواد ترکیبی مثل نیترات ها، اکسیدها، پلیمرها، ابر شبکه ای ها و … بسیار مناسب می باشد.
به علاوه سیستم دارای یک منبع تبخیر حرارتی با قابلیت فعال سازی سه بوته یا بسکت بوده و امکان انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی برای کاربرد های لایه نازک را نیز فراهم می کند.