سنسورهای خلاء جهت اندازه گیری دقیق میزان فشار یا خلاء در محیط های بسته طراحی و تولید می شوند. این سنسورها بسته به شرایط کاری و میزان دقت و بازه اندازه گیری دسته بندی می شوند.
سنسورهای خلاء پیرانی که بازه اندازه گیری آنها از فشار اتمسفر سطح دریا (۷۶۰ میلی بار) تا حداکثر خلاء ۰۰۰۱/۰ میلی بار می باشد از طریق ایجاد اختلاف پتانسیل در دو سر فیلامان تنگستنی (که به روشهای لایه نشانی در خلاء بوسیله جزء ثانویه پوشش دهی می شود) و میکروکنترلر مربوطه اختلاف فشار و خلاء را به صورت پیوسته اندازه گیری می نماید. حساسیت طراحی این سنسورها در پوشش فیلامان تنگستنی، طول این فیلامان، نحوه اتصال فیلامان به مدار الکترونیکی سنسور و جلوگیری از نشت خلاء در کلیه اجزای سنسور و همچنین برنامه نویسی چیپ های میکروکنترلر جهت دستیابی به نتیجه ای تکرار پذیر و قابل اطمینان می باشد.
سنسورهای مولتی رنج یا واید رنج بازه ای گسترده تر نسبت به سنسورهای پیرانی داشته که در انواع مختلف می تواند از فشار اتمسفر سطح دریا (۷۶۰ میلی بار) تا حداکثر خلاء۷-۱۰ میلی بار متغیر باشد. این سنسورها از دو قسمت تشکیل می شوند که به کمک برنامه نویسی پیچیده و دقیق و میکرو سوییچینگ مناسب رنج پیوسته و گسترده ای از خلاء و فشار را قابل بازخوانی می نمایند. قسمت اول متشکل از یک سنسور پیرانی (با فیلامان تنگستنی لایه نشانی شده) و مدارات مربوطه و قسمت دوم متشکل از یک سنسور کاتد سرد می باشد. سنسور کاتد سرد همانطور که از نامش پیداست از یک آند استوانه ای با آلیاژ خاص و یک کاتد میله ای شکل با طول و قطر مشخص و محاسبه شده، یک منبع تغذیه ولتاژ بالا، مجموعه ای از مگنت های حلقه ای از آلیاژ خاص و مدارات الکتریکی و الکترونیکی به همراه برنامه نویسی بسیار پیچیده می باشد که رنج خلاء ۳-۱۰ تا ۷-۱۰ میلی بار را می توان با آن اندازه گیری نمود. پیچیدگی تولید این سنسورها در انتخاب آلیاژ مناسب فیلامان و آند و کاتد و نوع پوشش دهی و پروسه پوشش دهی آنها، آب بندی و جلوگیری از نشت خلاء، منبع تغذیه ولتاژ بالا و عایق بندی الکتریکی و الکترونیکی بدنه از آند و کاتد و همچنین سوییچینگ بسیار دقیق با تکرار پذیری بالا و قابل اطمینان است.
نمایشگرها و کنترلرهای خلاء تولید شرکت یاران قابلیت اتصال و نمایش داده های خروجی هر سه نوع سنسور پیرانی، کاتد سرد و مولتی رنج/واید رنج را داشته و با نمایش تغییرات و سطح خلاء با فرکانس بالا و به صورت پیوسته داشته و می توان از رله های خروجی این کنترلر ها با تعیین ست پوینت (نقطه شروع و پایان) میزان خلاء در محفظه مورد نظر را کنترل کرد. همچنین این کنترلر ها قابلیت اتصال به انواع رکوردر و PLC را داشته که می توان گراف تغییرات سطح خلاء نسبت به زمان را در آنها رسم و جهت گزارش استفاده نمود.