- تعداد بازدید : ۳۰۳ بار
در عملیات درون سیستم های خلأ، مشاهده مستقیم فرآیند، ابزار قدرتمندی برای کنترل کیفیت و درک فیزیکی فرآیند در حال اجراست. در اغلب دستگاه های موجود در بازار، محفظه مورد استفاده از جنس فلز است و برای مشاهده فقط پنجره کوچکی از شیشه در نظر گرفته می شود. وزن زیاد و محدودیت دید، حتی برای یک نفر، از جمله مشکلات محفظه از جنس فلز است. محفظه های شیشه ای نیز گزینه ای مناسب برای محفظه خلأ نیستند، چرا که علاوه بر وزن زیاد، شکننده بوده و در صورت شکست تحت خلأ می توانند خطرناک باشند. سامانه لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی با محفظه خلأ از جنس پلیمر شفاف که برای اولین بار در شرکت هزاره سوم طراحی شده، مشاهده ی کامل فرایند لایه نشانی لایه های مختلف به روش تبخیر حرارتی را کاملا ممکن می سازد.در ساخت این دستگاه، از پلیمر شفاف به عنوان محفظه خلأ سامانه استفاده شده است که بمراتب از استیل و شیشه سبکتر می باشد و امکان مشاهده درون دستگاه را برای تمام افرادی که دور دستگاه حاضرند میسر می سازد.
توضیح مهم: این دستگاه با محفظه استیل نیز قابل استفاده می باشد. در صورت نیاز، محفظه استیل بصورت وسیله ی جانبی بهمراه دستگاه قابل خرید است. بدلیل عمر طولانی تر، استفاده از محفظه استیل برای کارهای رویتی (غیرتجربی) پیشنهاد می شود. استفاده از محفظه پلیمری برای کارهای پژوهشی (تک کاری) توصیه می گردد. سامانه ی حاضر حتی در صورت استفاده از بدنه ی استیل نیز به دلیل وجود قاعده ی فوقانی شفاف، از نظر دید داخل محفظه عالی است. قاعده ی فوقانی، بدلیل ضخامت زیاد پلیمر، عمر به مراتب طولانی تری دارد.
۲- آشنایی با فرآیند لایه نشانی:
لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی فرآیندی است که در خلأ بهتر از ۱۰-۴ torr، با گرمایش الکتریکی بوته ی حاوی مورد نظر صورت می گیرد. هدایت و انتقال ماده تبخیر شده به سمت زیرلایه بر اساس اختلاف فشار محلی بین بوته و زیرلایه اتفاق می افتد. به بوته ی تبخیر در خلأ، بدلیل شکل هندسی خاص آن قایقک گفته می شود. این روش لایه نشانی یکی از رایج ترین انواع لایه نشانی ها برای ساخت لایه های نازک به شمار می رود. پارامترهایی که در این نوع لایه نشانی بایستی کنترل شوند، فشار محفظه و دمای قایقک تبخیر است. در این روش، ماده موردنظر (مثلا طلا) در یک قایقک از جنس فلز دیرگداز، اکثرا تنگستن، قرار می گیرد. با عبور جریان الکتریکی از قایقک و داغ شدن آن ماده مورد نظر، تبخیر آن در محیط خلأ آغاز می شود. با ادامه تبخیر، لایه نازکی از ماده تبخیر شده بر روی زیر پایه، که در ارتفاع مناسبی بالای قایقک مستقر است، شکل می گیرد. در شکل ۱ تصویر قسمت های مختلف درون محفظه ارائه شده است
۳- مشخصات فنی سامانه:
محفظه خلأ استوانه ای شکل با حجم مفید ۳۰ lit می باشد.
تمام بدنه محفظه بجز قاعده تحتانی محفظه از پلیمر شفاف است و فرآیندهای اجرا شده در خلأ قابل مشاهده می باشد.در شکل ۲ تصویر دستگاه در حال اجرای فرایند لایه نشانی طلا نمایش داده شده است.
خلأ توسط یک دستگاه پمپ چرخشی با قدرت تخلیه ۸ m۳/h و یک دستگاه پمپ نفوذی تامین می گردد.در شکل ۳ تصویر پمپ های درون دستگاه نمایش داده شده است.
این سامانه مخصوص نشانش لایه های نازک به روش تبخیر حرارتی طراحی گردیده است و کاربرد آن برای مصارف دیگر توصیه نمی گردد.هزاره سوم سامانه های دیگری با ویژگی های متفاوت برای سایر کاربرد ها مثلا (sputtering یا electron) تولید می کند.
.
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
در عملیات درون سیستم های خلأ، مشاهده مستقیم فرآیند، ابزار قدرتمندی برای کنترل کیفیت و درک فیزیکی فرآیند در حال اجراست. در اغلب دستگاه های موجود در بازار، محفظه مورد استفاده از جنس فلز است و برای مشاهده فقط پنجره کوچکی از شیشه در نظر گرفته می شود. وزن زیاد و محدودیت دید، حتی برای یک نفر، از جمله مشکلات محفظه از جنس فلز است. محفظه های شیشه ای نیز گزینه ای مناسب برای محفظه خلأ نیستند، چرا که علاوه بر وزن زیاد، شکننده بوده و در صورت شکست تحت خلأ می توانند خطرناک باشند. سامانه لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی با محفظه خلأ از جنس پلیمر شفاف که برای اولین بار در شرکت هزاره سوم طراحی شده، مشاهده ی کامل فرایند لایه نشانی لایه های مختلف به روش تبخیر حرارتی را کاملا ممکن می سازد.در ساخت این دستگاه، از پلیمر شفاف به عنوان محفظه خلأ سامانه استفاده شده است که بمراتب از استیل و شیشه سبکتر می باشد و امکان مشاهده درون دستگاه را برای تمام افرادی که دور دستگاه حاضرند میسر می سازد.
توضیح مهم: این دستگاه با محفظه استیل نیز قابل استفاده می باشد. در صورت نیاز، محفظه استیل بصورت وسیله ی جانبی بهمراه دستگاه قابل خرید است. بدلیل عمر طولانی تر، استفاده از محفظه استیل برای کارهای رویتی (غیرتجربی) پیشنهاد می شود. استفاده از محفظه پلیمری برای کارهای پژوهشی (تک کاری) توصیه می گردد. سامانه ی حاضر حتی در صورت استفاده از بدنه ی استیل نیز به دلیل وجود قاعده ی فوقانی شفاف، از نظر دید داخل محفظه عالی است. قاعده ی فوقانی، بدلیل ضخامت زیاد پلیمر، عمر به مراتب طولانی تری دارد.
۲- آشنایی با فرآیند لایه نشانی:
لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی فرآیندی است که در خلأ بهتر از ۱۰-۴ torr، با گرمایش الکتریکی بوته ی حاوی مورد نظر صورت می گیرد. هدایت و انتقال ماده تبخیر شده به سمت زیرلایه بر اساس اختلاف فشار محلی بین بوته و زیرلایه اتفاق می افتد. به بوته ی تبخیر در خلأ، بدلیل شکل هندسی خاص آن قایقک گفته می شود. این روش لایه نشانی یکی از رایج ترین انواع لایه نشانی ها برای ساخت لایه های نازک به شمار می رود. پارامترهایی که در این نوع لایه نشانی بایستی کنترل شوند، فشار محفظه و دمای قایقک تبخیر است. در این روش، ماده موردنظر (مثلا طلا) در یک قایقک از جنس فلز دیرگداز، اکثرا تنگستن، قرار می گیرد. با عبور جریان الکتریکی از قایقک و داغ شدن آن ماده مورد نظر، تبخیر آن در محیط خلأ آغاز می شود. با ادامه تبخیر، لایه نازکی از ماده تبخیر شده بر روی زیر پایه، که در ارتفاع مناسبی بالای قایقک مستقر است، شکل می گیرد. در شکل ۱ تصویر قسمت های مختلف درون محفظه ارائه شده است
۳- مشخصات فنی سامانه:
محفظه خلأ استوانه ای شکل با حجم مفید ۳۰ lit می باشد.
تمام بدنه محفظه بجز قاعده تحتانی محفظه از پلیمر شفاف است و فرآیندهای اجرا شده در خلأ قابل مشاهده می باشد.در شکل ۲ تصویر دستگاه در حال اجرای فرایند لایه نشانی طلا نمایش داده شده است.
خلأ توسط یک دستگاه پمپ چرخشی با قدرت تخلیه ۸ m۳/h و یک دستگاه پمپ نفوذی تامین می گردد.در شکل ۳ تصویر پمپ های درون دستگاه نمایش داده شده است.
این سامانه مخصوص نشانش لایه های نازک به روش تبخیر حرارتی طراحی گردیده است و کاربرد آن برای مصارف دیگر توصیه نمی گردد.هزاره سوم سامانه های دیگری با ویژگی های متفاوت برای سایر کاربرد ها مثلا (sputtering یا electron) تولید می کند.
.
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
