این دستگاه با بررسی داده های ناشی از پراش فرنل از پله فازی ضخامت لایه های نشانده شده بر روی سطوح را با دقت حداکثر ۲ نانومتر اندازه گیری می کند.
لیــــــزر با توان ۵ تا ۱۵ میلی وات جهت تامین نور (با دو طول موج در دستگاه اول)، مـــوازی ساز نـــور شامل دو عدسی و یک پین هل (Pin hole) با دقت هم خطی ۵ میکرون، گونیـــــومتر دارای دقت حداقل ۱ دقیقه در زاویه به همراه بازوی تغییرات ۱ به ۲ برای CCD ، موتــــور برای تغییرات زاویه و مشاهده دیجیتال زاویه (Encoder)، نگهــدارنـده سه محوری نمونه و دوربین، دوربین دارای اندازه پیکسل ۵ میکرون، کاور دستگاه دارای طراحی ترکیبی فلز و پلاستیک، نـرم افزار پردازش تصاویر و اعلام ضخامت از اجزای تشکیل دهنده دستگاه هستند.
مزایا
عدم حساسیت به نوسانات مکانیکی بر خلاف سایر روش ها
عدم نیاز به کالیبراسیون دائمی بر خلاف سایر روش ها
محدوده کاری وسیع تر نسبت به سایر روش ها (نانومتر تا چند میکرون)
علم و تکنولوژی ساخت کاملاً بومی
عدم نیاز به پارامتر ورودی
سهولت کار با دستگاه
کــاربــــــــردها
انـدازه گیری ضخامت در مولتـــی لایــه ها، فیــــلتـرهای اپــتیکی و دیــکروئیک ها ، صنایع نـظامی و الکتـرونیکی، لایـــه نشانی، صنعت نیــمه هادی، سلولهای خورشیدی میــکرو الکتــرونـیک، mems & nems، صنعت سنــسورسازی و غیره