- تعداد بازدید : ۳۱۰ بار
شرکت ریز مقیاس آژینه، تنها تولید کننده این دستگاه در داخل کشور است. از این دستگاه برای لیتوگرافی و به ویژه در کاربردهای خاصی که نیاز است الگوی مورد نظر را با لایه های قبلی تطبیق داد، استفاده می شود.
در ساخت اغلب ادوات نیمه هادی چندین لایه روی هم الگودهی میشوند و درنتیجه چندین مرحله لیتوگرافی باید انجام شوند که الگودهی هر مرحله باید منطبق با الگوی پیشین باشد. در نتیجه دستگاه تطبیق ماسک علاوه بر سیستم نوردهی، بسیار ضروری است. برای ساخت ادوات MEMS لازم است زیر نمونه نیز دیده شود و تطبیق دوطرفه مورد نیاز است. دستگاه تطبیق ماسک دوطرفه از یک سیستم مکانیکی برای جابجایی نمونه با دقت میکرومتری و یک میکروسکوپ نوری برای مشاهده الگوی نمونه و ماسک از بالا و پایین تشکیل میشود.
این دستگاه قابلیت تطبیق ماسک های اپتیکی از دو طرف را دارا است که برای ساخت ادوات MEMS ضروری می باشد. با تولید این دستگاه زمینه برای گسترش بازار ادوات MEMS در داخل کشور مهیا شده است.
در این دستگاه از اشعه فرابنفش (UV) برای نوردهی استفاده می شود و میکروسکوپ های دقیق در بالا و پایین نمونه برای تطبیق دو طرفه قرار دارند. دقت دستگاه ۲ میکرون است.
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
شرکت ریز مقیاس آژینه، تنها تولید کننده این دستگاه در داخل کشور است. از این دستگاه برای لیتوگرافی و به ویژه در کاربردهای خاصی که نیاز است الگوی مورد نظر را با لایه های قبلی تطبیق داد، استفاده می شود.
در ساخت اغلب ادوات نیمه هادی چندین لایه روی هم الگودهی میشوند و درنتیجه چندین مرحله لیتوگرافی باید انجام شوند که الگودهی هر مرحله باید منطبق با الگوی پیشین باشد. در نتیجه دستگاه تطبیق ماسک علاوه بر سیستم نوردهی، بسیار ضروری است. برای ساخت ادوات MEMS لازم است زیر نمونه نیز دیده شود و تطبیق دوطرفه مورد نیاز است. دستگاه تطبیق ماسک دوطرفه از یک سیستم مکانیکی برای جابجایی نمونه با دقت میکرومتری و یک میکروسکوپ نوری برای مشاهده الگوی نمونه و ماسک از بالا و پایین تشکیل میشود.
این دستگاه قابلیت تطبیق ماسک های اپتیکی از دو طرف را دارا است که برای ساخت ادوات MEMS ضروری می باشد. با تولید این دستگاه زمینه برای گسترش بازار ادوات MEMS در داخل کشور مهیا شده است.
در این دستگاه از اشعه فرابنفش (UV) برای نوردهی استفاده می شود و میکروسکوپ های دقیق در بالا و پایین نمونه برای تطبیق دو طرفه قرار دارند. دقت دستگاه ۲ میکرون است.
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
