یکی از روش های پرکاربرد در زمینه لایه نشانی لایه های نازک، کندوپاش ( اسپاترینگ ) DC و RF می باشد. در این روش کاتد مگنترونی جهت کندوپاش تارگت های رسانا به منبع ولتاژ بالا از نوع DC و برای تارگت های نارسانا به مولد پلاسمایRF) RF ژنراتور) متصل شده و با ورود کنترل شده گاز آرگون لایه نشانی انجام می شود.

فشار پایه محفظه خلأ این سامانه ۱۰-۷ torr می باشد و برای انجام لایه نشانی با کیفیت بالاتر می توان فشار پایه را تا محدوده ۱۰-۸ torr پائین آورد. این سامانه با داشتن دام سرد نیتروژن مایع و پمپ دیفیوژن امکان کار در این محدوده فشاری را دارد.

سامانه لایه نشانی کندوپاش DC و RF طراحی و ساخته شده توسط شرکت یارنیکان صالح دارای قابلیت های زیر است:

فشار نهایی محفظه با دام سرد نیتروژن و سرعت پمپ کردن ۲۰۰ l/s : کمتر از ۶×۱۰-۸ mbar
انجام فرآیند تخلیه و لایه نشانی به صورت کنترل شده
گرم کردن محفظ توسط سیستم تابشی تا دمای ۱۵۰ oC
خواندن نرخ و ضخامت لایه با دقت ۲Å
امکان چرخش نگه دارنده زیرلایه (به سفارش مشتری)
خنک سازی زیر لایه ها هنگام لایه نشانی
دارای دو مسیر تخلیه سامانه – مسیر مستقیم و پشتی (Roughing & Backing)

رک سامانه

برای راه اندازی و کنترل سامانه خلأ از رک استفاده می­شود. نمایشگر دستگاه­ها، کلیدهای روشن/خاموش و کلیدهای کنترلی کار با دستگاه ­ها در آن قرار دارد. رک سامانه درست در کنار میز قرار دارد و ارتفاع آن مناسب برای کار کاربر می باشد. امکان جابجایی رک با استفاده از چزخ های آن به راحتی برای کاربر امکان پذیر است. قسمت های مختلف رک عبارتند از:

سامانه نشان دهنده وضعیت سیستم: در این سامانه وضعیت روشن یا خاموش بودن پمپ ها، شیرهای مسیرمستقیم، پشتی و شیر دروازه ای نمایش داده می شود. وضعیت هوای فشرده و آب های ورودی هر یک از دستگاه ها به طور جداگانه در این قسمت نمایش داده می شود.
منبع ولتاژDC : برای ايجاد پلاسما از این منبع استفاده می شود. دستگاه مورد نظر منبع ولتاژ۸۰۰ ولت، ۱آمپری است. دقت تنظیم ولتاژ دستگاه ۲ ولت می باشد. این دستگاه دارای حفاظت های اضافه جریان، اضافه ولتاژ و حفاظت در برابر افزایش دما می باشد . همچنین در صورت تغییر بار در حین کار، که حاصل آن افزایش یا کاهش ولتاژ خروجی است، دستگاه بلافاصله ولتاژ را به مقدار تنظیم شده توسط کاربر بر می گرداند. این دستگاه توسط کارشناسان الکترونیک شرکت ساخته شده است.
RF ژنراتور: مولد پلاسمای RF ساخت شرکت يارنيکان صالح در فرکانس ۱۳.۵۶ مگاهرتز کار مي کند و توان مولد در این سامانه بين ۰ تا ۲۰۰ وات است و قابليت استفاده در بسياري از کاربرد هاي آزمايشگاهي و صنعتي را دارد. در صورت نیاز امکان افزایش توان مولد فوق موجود است.
کنترل کننده های شیرهای سوزنی: کلیدهای کنترلی شیرهای سوزنی برای تنظیم فشار محفظه به کار
می روند.
پنل های نمایشگرهای فشار: نمایشگرهای فشارسنج ها به صورت دیجیتالی فشارهای پایین و بالا را نمایش می دهند. این نمایشگرها دارای رله های کنترلی می باشند و می توان برای کنترل فشارهای دلخواه از آنها استفاده نمود.
پنل کنترلر دما: این سامانه دارای گرم کننده تابشی برای عملیات Bakeout برای رسیدن به فشارهای پایین می باشد. دمای محفظه با کنترلر دما قابل تنظیم می باشد.
سامانه خنک کننده: این سامانه دارای شیرهای برقی و سنسور آب برای کنترل و تنظیم آب ورودی به قسمت های مختلف از جمله پمپ دیفیوژن، ضخامت سنج و ... می باشد.

اجزاء مختلف این محفظه عبارتند از:

پمپ دیفیوژن و دام سرد ها: این پمپ ساخت شرکت یارنیکان صالح می باشد و با سرعت۲۵۰ l/s دارای دهانه DN۱۰۰K می باشد این پمپ به همراه دام سرد آبگرد و نیتروژن مایع فشار محفظه را تا مقدار ۶×۱۰-۸ mbar پایین می آورد.
هد ضخامت سنج و نمایشگر آن: هد ضخامت سنج داخل محفظه نصب شده و قابلیت رسیدن به فشار ۱×۱۰-۸ mbar را دارد. کریستال کوارتز ۶MHz روی این قطعه نصب شده و امکان خنک کردن آن با آب حین لایه نشانی وجود دارد. امکان تنظیم ارتفاع ضخامت سنج از قابلیت های دیگر آن می باشد. دستگاه ضخامت سنج ساخت این شرکت، از دو بخش نمایشگر و نوسان ساز تشکیل شده است. خواندن و نمایش ضخامت و نرخ لایه نشانی، ذخیره مشخصات چهار لایه و امکان اتصال به کامپیوتر از قابلیت های این نمایشگر می باشد. این دستگاه ضخامت ۰-۹۹۹ nm را با دقت ۲Å اندازه گیری می کند.
شیر سوزنی نیتروژن و آرگون: شیرهای سوزنی ساخت این شرکت قابلیت تنظیم فشار در بازه ۱×۱۰-۱ - ۱×۱۰-۴ mbar را دارا بوده و به صورت دستی و موتوری کنترل می شوند. این شیرها دارای فلانج استاندارد DN۱۰KF می باشند و قابلیت رسیدن به فشار پایه۱×۱۰-۸ mbar را دارند.
شیر گازدهی: این شیر به منظور شکستن خلأ و وارد نمودن گاز نیتروژن به محفظه به کار می رود.
منبع کندوپاش مگنترونی(اسپاترگان): این قطعه توسط کارشناسان این شرکت ساخته شده است و از جمله مشخصات این قطعه: قابلیت نصب تارگت ۲ اینچی، داراي نرخ خوردگي بالای تارگت، قابليت خنک شوندگي با آب و آسان بودن نصب می باشد.
فشارسنج پیرانی: این فشارسنج ها قابلیت رسیدن به فشار ۱۰-۸ torr دارند و فشار ۱ ۱۰-۳ اتمسفر تا میلی بار را اندازه گيري می کند.
فشار سنج کاتد سرد: فشارسنج ساخت این شرکت قابلیت رسیدن به فشار ۱۰-۸ torr دارند و فشار ۱۰-۷ - ۱۰-۳ mbarرا اندازه گيري می کند.
فیدتروی الکتریکی ۴ پین: برای انتقال سیگنال الکتریکی به داخل محفظه خلا در فشارهای بسیار پایین از این فیدترو استفاده می شود. این فیدترو دارای اتصالات شیشه به فلز می باشد و در فشارهای پایین و دمای بالا کاربرد دارد.
شاتر نمونه: این مجموعه دارای شاتر مغناطیسی می باشد و به صورت موتوری می باشد.
بالابر محفظه: این محفظه دارای بالابر نیوماتیکی می باشد.

مشخصات محفظه:

حجم: ۱۰ لیتر
عملیات سطحی محفظه Glass Bead Blast (عملیات استاندارد در محفظه و قطعات خلأ)
محدوده دمایی محفظه با اورینگ های ۲۰-۲۰۰ OC :Viton
جنس مواد در معرض خلأ stainless steel ۳۰۴