- تعداد بازدید : ۳۱۳ بار
DST۳-A, یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ (کندوپاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF,DC قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی و سرامیک ها می باشد.
DST۳ با توجه به حالت قرار گرفتن کاتدهای آن دارای دو مدل می باشد:
DST۳-A – کاتدهاي با زاويه
مدل DST۳-A با بکارگيري سه کاتد زاویه دار با نقطه کانوني مشترک، قادر به انجام لايه نشاني متمرکز و همزمان دو يا سه کاتد است و علاوه بر ساخت چند لايه اي ها امکان آلياژ سازي را نیز فراهم می کند. قابليت چرخش زير لايه این سیستم باعث يکنواختي بسيار خوب لايه رشد داده شده مي شود. همچنين بدليل امکان زاويه دادن به زير لايه نسبت به کاتدها مي توان انواع لايه ها را به صورت ستوني رشد داد (Glad Sputtering).
DST۳-S– کاتدهاي خطي (يا مستقيم)
مدل DST۳-S با دارا بودن سه کاتد با قطر دو اینچ که بدون زاویه کنار یکدیگر قرار گرفته اند، براي لايه نشاني بر روي تک نمونه هاي بزرگ با قطري حدود ۲۰ سانتي متر و يا چندين قطعه با ابعاد کوچکتر در اين محدوده مناسب مي باشد. اين دستگاه براي اطمينان از يکنواختي لايه در تمام سطح نمونه هاي بزرگ، مجهز به سه کاتد مگنترون گرديده است.
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
DST۳-A, یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ (کندوپاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF,DC قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی و سرامیک ها می باشد.
DST۳ با توجه به حالت قرار گرفتن کاتدهای آن دارای دو مدل می باشد:
DST۳-A – کاتدهاي با زاويه
مدل DST۳-A با بکارگيري سه کاتد زاویه دار با نقطه کانوني مشترک، قادر به انجام لايه نشاني متمرکز و همزمان دو يا سه کاتد است و علاوه بر ساخت چند لايه اي ها امکان آلياژ سازي را نیز فراهم می کند. قابليت چرخش زير لايه این سیستم باعث يکنواختي بسيار خوب لايه رشد داده شده مي شود. همچنين بدليل امکان زاويه دادن به زير لايه نسبت به کاتدها مي توان انواع لايه ها را به صورت ستوني رشد داد (Glad Sputtering).
DST۳-S– کاتدهاي خطي (يا مستقيم)
مدل DST۳-S با دارا بودن سه کاتد با قطر دو اینچ که بدون زاویه کنار یکدیگر قرار گرفته اند، براي لايه نشاني بر روي تک نمونه هاي بزرگ با قطري حدود ۲۰ سانتي متر و يا چندين قطعه با ابعاد کوچکتر در اين محدوده مناسب مي باشد. اين دستگاه براي اطمينان از يکنواختي لايه در تمام سطح نمونه هاي بزرگ، مجهز به سه کاتد مگنترون گرديده است.
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
