- تعداد بازدید : ۷۹۰ بار
ژنراتورهای فرکانس رادیویی به صورت استاندارد با امپدانس خروجی ۵۰ اهم طراحی و ساخته می‌شوند و از آنجایی که محفظه یا مشعل پلاسما یا اغلب بارهای دیگر که نیاز به اعمال توان RF دارند، دارای امپدانس معادل غیر ۵۰ اهم و معمولاً همراه با بخش سلفی و خازنی می‌باشند. بنابراین برای جلوگیری از انعکاس توان ارسال‌شده توسط ژنراتور و حفاظت مولد RF و به حداکثر رساندن توان رسیده به بار و تکرارپذیر کردن فرایندها و همچنین فراهم آوردن شرایط شدت میدان لازم در محفظه قبل و بعد از تشکیل پلاسما نیاز به سامانه‌ای است که امپدانس معادل بار را به امپدانس ژنراتور تغییر سطح دهد. این کار توسط شبکه تطبیق امپدانس که با نام مچ باکس (Matchbox) نیز شناخته می‌شود، انجام می‌گیرد.
در حالت معمول و استاندارد شبکه تطبیق برای محدوده امپدانسی بین ۳ تا ۳۵ اهم ساخته می‌شود، اما با توجه به دانش فنی و تجربه عملی موجود در شرکت بسافن، امکان ارائه شبکه‌های تطبیق برای انواع بارها مانند اسپاترگان و RIE و یا بارهای با کوپلاژ خازنی و القایی و یا بارهای پیچیده مانند چشمه یون هلیکون یا ICP اتمسفری دارای دو مد E و H و یا تورچ‌های پلاسمای اتمسفری و بارهای دارای رنج‌های امپدانسی غیر استاندارد و غیر معمول وجود دارد.
جعبه تطبیق امپدانس در شرکت بسافن در دو نوع دستی و اتوماتیک ساخته می‌شود.
شبکه تطبیق امپدانس اتوماتیک
شبكه‌هاي تطبيق امپدانس خودكار بسافن، ATN-xx-BF، شرايط تطبيق مولد فركانس راديويي را در كاربردهايي مانند PECVD، HDPCVD، اسپاترينگ، اشينگ و غيره فرآهم مي‌آورند. شبكه‌هاي تطبيق بسافن با كمك درايو موتورهاي DC عمليات تطبيق را انجام مي‌دهند. سامانه تطبيق اتوماتيك بسافن امپدانس محفظه پلاسما را به ۵۰ اهم تغيير سطح مي‌دهد تا حداكثر توان از مولد به محفظه برسد.
شبكه‌هاي تطبيق اتوماتيك بسافن در سه مد مستقل کار خود را انجام می‌دهد. مد اتوماتيك به طور پيوسته تغييرات امپدانس محفظه پلاسما را جبران مي‌كند. مد دستي به كاربر اجازه مي‌دهد تا در حين پروسه مقادير خازن‌هاي تطبيق‌كننده را تغيير دهد. در مد تنظيم پریست (PRESET)، كاربر مي‌تواند در شروع كار به صورت خودكار خازن‌ها را در مقداري نزديك به شرايط تطبيق كامل تنظيم كند تا تطبيق با سرعت بيشتري انجام شود.
از طریق پنل جلویی دستگاه كنترلر و همچنين اتصالات VGA می‌توان پارامترهای مختلف را تنظیم و عملکرد آن را کنترل کرد. مقادیر مكان خازن‌ها را می‌توان بر روی نمایشگر آنالوگ دستگاه مشاهده نمود.
از کاربردهای خاص اين دستگاه توليد پلاسما به منظور مصارف گوناگون نظير مراحل مختلف لايه‌نشاني، اسپاترینگ، اچینگ (etching)، تمیزسازی (cleaning) و همچنین براي ساخت قطعات ميکروالکترونيک و فن‌آوري نانو مي‌باشد.
از جمله ویژگی‌های بسیار مهم شبکه‌های تطبیق امپدانس ATN-xx-BF بسافن سرعت عمل بسیار بالا و در حدود ۲ ثانیه برای تشکیل پلاسما و انجام تطبیق کامل برای بارهای استاندارد می‌باشد.
در شکل زیر نمای دستگاه را مشاهده می‌نمایید.
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
ژنراتورهای فرکانس رادیویی به صورت استاندارد با امپدانس خروجی ۵۰ اهم طراحی و ساخته می‌شوند و از آنجایی که محفظه یا مشعل پلاسما یا اغلب بارهای دیگر که نیاز به اعمال توان RF دارند، دارای امپدانس معادل غیر ۵۰ اهم و معمولاً همراه با بخش سلفی و خازنی می‌باشند. بنابراین برای جلوگیری از انعکاس توان ارسال‌شده توسط ژنراتور و حفاظت مولد RF و به حداکثر رساندن توان رسیده به بار و تکرارپذیر کردن فرایندها و همچنین فراهم آوردن شرایط شدت میدان لازم در محفظه قبل و بعد از تشکیل پلاسما نیاز به سامانه‌ای است که امپدانس معادل بار را به امپدانس ژنراتور تغییر سطح دهد. این کار توسط شبکه تطبیق امپدانس که با نام مچ باکس (Matchbox) نیز شناخته می‌شود، انجام می‌گیرد.
در حالت معمول و استاندارد شبکه تطبیق برای محدوده امپدانسی بین ۳ تا ۳۵ اهم ساخته می‌شود، اما با توجه به دانش فنی و تجربه عملی موجود در شرکت بسافن، امکان ارائه شبکه‌های تطبیق برای انواع بارها مانند اسپاترگان و RIE و یا بارهای با کوپلاژ خازنی و القایی و یا بارهای پیچیده مانند چشمه یون هلیکون یا ICP اتمسفری دارای دو مد E و H و یا تورچ‌های پلاسمای اتمسفری و بارهای دارای رنج‌های امپدانسی غیر استاندارد و غیر معمول وجود دارد.
جعبه تطبیق امپدانس در شرکت بسافن در دو نوع دستی و اتوماتیک ساخته می‌شود.
شبکه تطبیق امپدانس اتوماتیک
شبكه‌هاي تطبيق امپدانس خودكار بسافن، ATN-xx-BF، شرايط تطبيق مولد فركانس راديويي را در كاربردهايي مانند PECVD، HDPCVD، اسپاترينگ، اشينگ و غيره فرآهم مي‌آورند. شبكه‌هاي تطبيق بسافن با كمك درايو موتورهاي DC عمليات تطبيق را انجام مي‌دهند. سامانه تطبيق اتوماتيك بسافن امپدانس محفظه پلاسما را به ۵۰ اهم تغيير سطح مي‌دهد تا حداكثر توان از مولد به محفظه برسد.
شبكه‌هاي تطبيق اتوماتيك بسافن در سه مد مستقل کار خود را انجام می‌دهد. مد اتوماتيك به طور پيوسته تغييرات امپدانس محفظه پلاسما را جبران مي‌كند. مد دستي به كاربر اجازه مي‌دهد تا در حين پروسه مقادير خازن‌هاي تطبيق‌كننده را تغيير دهد. در مد تنظيم پریست (PRESET)، كاربر مي‌تواند در شروع كار به صورت خودكار خازن‌ها را در مقداري نزديك به شرايط تطبيق كامل تنظيم كند تا تطبيق با سرعت بيشتري انجام شود.
از طریق پنل جلویی دستگاه كنترلر و همچنين اتصالات VGA می‌توان پارامترهای مختلف را تنظیم و عملکرد آن را کنترل کرد. مقادیر مكان خازن‌ها را می‌توان بر روی نمایشگر آنالوگ دستگاه مشاهده نمود.
از کاربردهای خاص اين دستگاه توليد پلاسما به منظور مصارف گوناگون نظير مراحل مختلف لايه‌نشاني، اسپاترینگ، اچینگ (etching)، تمیزسازی (cleaning) و همچنین براي ساخت قطعات ميکروالکترونيک و فن‌آوري نانو مي‌باشد.
از جمله ویژگی‌های بسیار مهم شبکه‌های تطبیق امپدانس ATN-xx-BF بسافن سرعت عمل بسیار بالا و در حدود ۲ ثانیه برای تشکیل پلاسما و انجام تطبیق کامل برای بارهای استاندارد می‌باشد.
در شکل زیر نمای دستگاه را مشاهده می‌نمایید.
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
