- تعداد بازدید : ۱۵۵ بار
FERA ۳ اولین دستگاهی در جهان است که توانسته سیستم پرتوی یونی Xe پلاسما را با سیستم میکروسکوپ الکترونی (SEM) در کنار هم قرار دهد که باعث شده جریان پرتوی یونی تا ۲ میکروآمپر افزایش یابد در نتیجه سرعت انجام کار تا ۵۰ برابر بیشتر از حالتی باشد که از Ga به عنوان منبع پرتوی یونی استفاده می شود. تمام این ها باعث می شود FERA۳ ابزار بسیار ایده آل برای انجام کارهای بزرگی باشد که از نظر زمانی وقت گیر یا غیرممکن هستند.
FERA ۳ میتواند همزمان ویژگی های یک میکروسکوپ الکترونی را با سرعت بالاتری در تصویر برداری و اسکن همراه با قابلیت رفع عیوب و اختلال های دینامیک و استاتیک تصاویر داشته باشد.
ویژگی های کلیدی:
- طراحی منحصر به فرد دید وسیع (wide Field Optics) به همراه یک لنز متوسط اختصاصی (IML) یک رنج وسیعی از مودهای کاری و تصویربرداری را ممکن میسازد (به عنوان مثال عمق فوکوس های مختلف)
- Real time In-Flight Beam Tracing برای عملکرد و بهینه سازی پرتو که قابلیت کنترل مستقیم و مداوم روی اندازه و جریان پرتو را دارد.
- تنظیمات سیستم الکترونی به صورت کاملا اتوماتیک.
- سرعت بالای تصویربرداری با نرخ حدودا ۲۰ نانوثانیه.
- تصویربرداری منحصر به فرد استریوسکوپی با استفاده از تکنولوژی پیشرفته ۳D Beam که تجربه بررسی و تصویر بردازی ۳D در مقیاس نانو و میکرو را در اختیار کاربر میگذارد.
- ۵۰ برابر سریعتر از FIBهای معمولی با منبع یون Ga.
- جریان یونی بین ۱pA تا ۲mA و رزولوشن کمتر از ۲۵نانومتر (ستون Xe پلاسما که به صورت خاص و ویژه طراحی شده است رسیدن به رزولوشن کمتر از ۱۵ نانومتر را ممکن میسازد)
- مقدار بالایی از یون های زنون در جریان FIB باعث سرعت بسیار بالایی فرآیند بدون نیاز به تزریق گاز کمکی میشود
- اتم های گاز نجیب Xe خواص الکتریکی را در مجاورت نقطه اثر تغییر نمیدهد.
- بدون ایجاد ترکیبات اینترتالیک در حین پرتو دهی یونی.
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
FERA ۳ اولین دستگاهی در جهان است که توانسته سیستم پرتوی یونی Xe پلاسما را با سیستم میکروسکوپ الکترونی (SEM) در کنار هم قرار دهد که باعث شده جریان پرتوی یونی تا ۲ میکروآمپر افزایش یابد در نتیجه سرعت انجام کار تا ۵۰ برابر بیشتر از حالتی باشد که از Ga به عنوان منبع پرتوی یونی استفاده می شود. تمام این ها باعث می شود FERA۳ ابزار بسیار ایده آل برای انجام کارهای بزرگی باشد که از نظر زمانی وقت گیر یا غیرممکن هستند.
FERA ۳ میتواند همزمان ویژگی های یک میکروسکوپ الکترونی را با سرعت بالاتری در تصویر برداری و اسکن همراه با قابلیت رفع عیوب و اختلال های دینامیک و استاتیک تصاویر داشته باشد.
ویژگی های کلیدی:
- طراحی منحصر به فرد دید وسیع (wide Field Optics) به همراه یک لنز متوسط اختصاصی (IML) یک رنج وسیعی از مودهای کاری و تصویربرداری را ممکن میسازد (به عنوان مثال عمق فوکوس های مختلف)
- Real time In-Flight Beam Tracing برای عملکرد و بهینه سازی پرتو که قابلیت کنترل مستقیم و مداوم روی اندازه و جریان پرتو را دارد.
- تنظیمات سیستم الکترونی به صورت کاملا اتوماتیک.
- سرعت بالای تصویربرداری با نرخ حدودا ۲۰ نانوثانیه.
- تصویربرداری منحصر به فرد استریوسکوپی با استفاده از تکنولوژی پیشرفته ۳D Beam که تجربه بررسی و تصویر بردازی ۳D در مقیاس نانو و میکرو را در اختیار کاربر میگذارد.
- ۵۰ برابر سریعتر از FIBهای معمولی با منبع یون Ga.
- جریان یونی بین ۱pA تا ۲mA و رزولوشن کمتر از ۲۵نانومتر (ستون Xe پلاسما که به صورت خاص و ویژه طراحی شده است رسیدن به رزولوشن کمتر از ۱۵ نانومتر را ممکن میسازد)
- مقدار بالایی از یون های زنون در جریان FIB باعث سرعت بسیار بالایی فرآیند بدون نیاز به تزریق گاز کمکی میشود
- اتم های گاز نجیب Xe خواص الکتریکی را در مجاورت نقطه اثر تغییر نمیدهد.
- بدون ایجاد ترکیبات اینترتالیک در حین پرتو دهی یونی.
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
