مشخصات فنی :
- خلأ نهایی : ۶-^۱۰ میلی بار
- ابعاد محفظه : قطر ۴۰ سانتیمتر، ارتفاع ۳۵ سانتی متر - دارای دو پنجره ی بازدید قطر ۱۰ سانتیمتر(روی بدنه) و یک پنجره ی بازدید قطر ۲۵ سانتیمتری(درب بالا)
- جنس محفظه: استیل ۳۰۴
- سیستم پمپینگ : روتاری دو مرحله ای و توربومولکولار
- گیج خلأ: از نوع ترکیبی پیرانی- خازنی
- فیدتروی سیگنال ۱۰ پین ولتاژ و ۲ پین High Voltage
- فیدتروی چرخنده مکانیکی
- اتصالات از نوع اورینگ،کلمپ ، رابط استیل، دهانه ی بسته، ولو تخلیه و ...
- دارای ۴ پورت DN۲۵ و ۴ پورت DN۴۰ و یک پورت DN۶۳