مشخصات فنی :
خلأ نهایی: ۶-^۱۰ تور
ابعاد مخزن: استوانه ای به قطر داخلی ۵۰ سانتیمتر، ارتفاع ۷۰ سانتیمتر بصورت افقی، مجهز به صفحه ی استیل گرم شونده تا ۷۰ درجه سلسیوس(کنترل PID SSR)
جنس مخزن: استینلس استیل ۳۰۴، دارای پنجره ی بازدید به قطر ۲۰ سانتیمتر و دارای لامپ ال ای دی بازدید درون محفظه
سیستم پمپینگ خلأ بالا : پمپ روتاری دو مرحله ای روغنی بهمراه پمپ دیفیوژن روغنی مجهز به دام سرد آبگرد (Water ColdTrap)
دارای انواع شیرهای خلأ از نوع زاویه ای الکتروپنوماتیکی (Vacuum Angle Valve)، شیر پروانه ای الکتروپنوماتیکی (Vacuum Butterfly) و شیرهای ونت (تخلیه) الکتروپنوماتیکی (Vent Valve)
گیج های خلأ: از نوع پیرانی و پنینگ( کاتدسرد) و گیج عقربه ای خلأ
سیستم کنترل پروسه: PLC Based بهمراه تاچ اسکرین ۷ اینچ (HMI)
فیدتروهای خلأ: مجهز به فیدتروهای سیگنال خلأ ۴۰ پین، ۳۲ پین و ۱۰ پین قابلیت عبور جریان تا ۱۰ آمپر
مجهز به واحد مراقبت جهت کنترل فشار باد پنوماتیک ورودی