- تعداد بازدید : ۳۸۵ بار
دستگاهRTP برای عملیات حرارتی با سرعت بسیار بالا و در شرایط کنترل شده دما و اتمسفر و با قابلیت دسترسی به خلاء بالا مورد استفاده قرار می گیرد. ویژگی RTP نسبت به آنیل های متداول در کوره، حرارت دهی در زمان های بسیار کمتر و دماهای بیشتر است. مکانیسم افزایش دمای سریع با استفاده از لامپ های هالوژن ۱۰۰۰ وات می باشد که در یک تله نوری استوانه ای امکان افزایش سریع دما را میسر می کند. دستگاه در دو مدل RTP-۱SS و RTP-۱SV ارئه شده است. مدل RTP-۱SS می تواند تحت اتمسفر هوا، گاز بی اثر و یا با عبور جریان گاز مورد استفاده قرار گیرد. در مدل RTP- ۱SV ایجاد شرایط خلا تا ۳-۱۰ تور امکانپذیر می باشد. نمونه در داخل استوانه از جنس کوارتز قرار می گیرد و دمای محل قرار گیری نمونه توسط ترموکوپل اندازه گیری می شود. این دستگاه نیازی به سیستم خنک کن اضافی ندارد و میزان تششعات گرمایی آن در حین استفاده ناچیز است.
کاربردها:
• بهبود بلورینگی لایه های نازک
• فعال کردن آلاینده ها در سیلیکون و نیم رساناهای دیگر
• بهبود مرز مشترک (Interface) بین لایه ها
• آنیل کردن با حداقل میزان دیفیوژن لایه ها
• سلنیوم/ سولفوره کردن لایه های نازک کالکوژنی
• عملیات حرارتی قطعات الکترونیکی
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
دستگاهRTP برای عملیات حرارتی با سرعت بسیار بالا و در شرایط کنترل شده دما و اتمسفر و با قابلیت دسترسی به خلاء بالا مورد استفاده قرار می گیرد. ویژگی RTP نسبت به آنیل های متداول در کوره، حرارت دهی در زمان های بسیار کمتر و دماهای بیشتر است. مکانیسم افزایش دمای سریع با استفاده از لامپ های هالوژن ۱۰۰۰ وات می باشد که در یک تله نوری استوانه ای امکان افزایش سریع دما را میسر می کند. دستگاه در دو مدل RTP-۱SS و RTP-۱SV ارئه شده است. مدل RTP-۱SS می تواند تحت اتمسفر هوا، گاز بی اثر و یا با عبور جریان گاز مورد استفاده قرار گیرد. در مدل RTP- ۱SV ایجاد شرایط خلا تا ۳-۱۰ تور امکانپذیر می باشد. نمونه در داخل استوانه از جنس کوارتز قرار می گیرد و دمای محل قرار گیری نمونه توسط ترموکوپل اندازه گیری می شود. این دستگاه نیازی به سیستم خنک کن اضافی ندارد و میزان تششعات گرمایی آن در حین استفاده ناچیز است.
کاربردها:
• بهبود بلورینگی لایه های نازک
• فعال کردن آلاینده ها در سیلیکون و نیم رساناهای دیگر
• بهبود مرز مشترک (Interface) بین لایه ها
• آنیل کردن با حداقل میزان دیفیوژن لایه ها
• سلنیوم/ سولفوره کردن لایه های نازک کالکوژنی
• عملیات حرارتی قطعات الکترونیکی
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
